PVD涂层工艺在各个技术领域得到广泛应用，其应用涉及范围从相对简单的资料外表处理，一直到高技术领域。PVD涂层的工艺特点是经过热能或经过粒子轰击来实现金属、合金或化合物高真空环境下的沉积进程。因为一般PVD涂层基体均为高速钢或硬质合金，特别硬质合金的涂层进程操控要求尤为严格，所以其进程的操控提出了严格要求。

一、入厂查看

此工序的使命是核对待涂层产品数量、查看产品可涂性、装载、填写流程跟单，输入数据库记载入厂查看信息。其间要害的质量操控点为可涂性的查看和记载、后续工艺处理流程的填写。可涂性查看包含对基体原料的辨认、外表处理状况的辨认、外形概括、有无冷却孔等，其间特别要注意外表发黑层，关于此类工件一般不适合后续涂层。后续工艺流程的填写需求出产经理承认方可施行转序，关于不同的基体原料和记载信息进行归纳断定后施行装载和转序。

二、脱膜处理

此工序的使命是关于高速钢或模具钢类工件进行脱膜处理，所以前期的原料辨认很要害，否则会形成待涂层产品报废。一般按照要求的配比进行脱膜，启动脱膜工艺前要承认工艺参数是否符合要求，避免对基体原料形成损害。

三、前处理

此工序的使命是关于不同的基体进行处理，一般有玻璃珠喷砂和金刚砂喷砂，不同的粒度对基体的处理程度也不相同，所选用的喷砂工艺取决于不同的基体原料。其间要害的质量操控点是二人承认程序质量管理制度。

基体资料的质量和洁净度很大程度上决议了涂层的质量。断定涂层好坏的规范有其外表的粗糙度，其外表的粗糙度很大程度上取决于所处理基体资料外表的粗糙度，因为关于薄膜资料它的安排结构为仿型安排结构。涂层的目标是获得润滑的外表以出产杰出的界面。

四、清洗

此道工序的主要使命是对涂层前的工件外表进行清洗，剔除外表的异物包含油污、重度粒子等。

其要害的质量操控点是对清洗质量的操控，包含清洗剂的配比监控、清洗喷头的角度监测等，清洗完后的目测查看若是还缺乏于查看外表的清洗质量，能够添加外表能的检测，现在只限于研发人员使用此类检测办法。

五、运转涂层工艺

PVD涂层工艺包含抽真空-加热-蚀刻-涂层-冷却。其间采用程序软件进行自动操控，要求对基体资料的温度、阴阳极电压参数的改变情况、真空度的改变情况等进行程序软件自动化记载以便于后续的追溯。PVD涂层质量好坏从有关基体温度、气压、沉积速率等参数的改变能够看出一些痕迹。

真空设备很大程度上影响着涂层质量好坏，有必要保证涂层环境中稳定、洁净，如果涂层环境中搀杂进污物或者过多的飞溅颗粒，将严重影响涂层的结构和质量，所以开炉前的清理作业很重要，夹具的定时维护需求多加重视，炉腔内的电气元件状况查看也尤为重要，对上一批次的残气查看也很要害。

六、后处理

依据涂层产品应用环境能够挑选进行后处理，以改进外表的光洁度，也能够对产品进行退磁处理，以避免加工铁屑的粘附倾向。